Avec un palier hybride composé d’un roulement à billes en céramique du côté du vide primaire et d’un roulement à aimant radial permanent du côté du vide poussé, les pompes turbomoléculaires HiPace 350 et 450 de Pfeiffer Vacuum sont dotées d’un système de roulement robuste gage de fiabilité. La conception innovante de leur rotor permet d’obtenir une vitesse de pompage élevée pour les gaz légers, une parfaite compatibilité avec les pompes à vide primaire, un flux de gaz élevé ainsi qu’une très bonne compression des gaz légers. Elle garantit également une rentabilité et une flexibilité élevées, car les pompes peuvent être utilisées dans n’importe quelle orientation. Ces pompes turbomoléculaires présentent un rapport taille/performances idéal. Elles sont compactes et hautement performantes dans la gamme des vitesses de pompage de 300 à 700 l/s et offrent une vitesse de pompage exceptionnelle pour les gaz légers.
Des fonctionnalités de commande à distance
L’électronique de commande intégrée offre un large éventail d’interfaces de communication, dont ProfiNet et EtherCat, sans accroître la taille de l’appareil. Les fonctionnalités de commande à distance ainsi que les capteurs intégrés permettent d’analyser les données des pompes. Ces pompes sont certifiées conformes aux directives SEMI S2, UL, CSA et NEMA 12. Elles ne nécessitent aucun entretien pendant une période pouvant aller jusqu’à 5 ans.
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