Avec une résolution inférieure à 30 picomètres, les valeurs mesurées de l’interferoMETER de Micro-Epsilon atteignent un niveau de précision innovant en métrologie optique. Selon l’application, trois modèles différents sont disponibles : Le IMS5400-DS pour les mesures de distance de haute précision et industrielles, le IMS5400-TH pour les mesures d’épaisseur précises et le IMS5600-DS avec une conception compatible avec le vide pour les mesures de distance avec une précision sub-nanométrique.
Trois modèles différents
L’interféromètre IMS5400-TH ultra-précis est utilisé pour la mesure d’épaisseur des matériaux transparents fins. La mesure s’effectue avec un seul capteur indépendamment de la distance par rapport à l’objet de mesure ce qui permet d’ignorer le flottement et des irrégularités de positionnement. Grâce à la source de lumière proche infrarouge, il est également possible de mesurer l’épaisseur du verre à revêtement antireflets. L’interféromètre IMS5400-DS est utilisé pour la mesure de distance industrielle. Le système de mesure fournit des valeurs de mesure absolues et peut détecter, par exemple, des dénivelées et des arêtes de manière fiable sans perte de signal. Les capteurs compacts et robustes permettent l’intégration dans les espaces d’installation restreints. L’interféromètre IMS5600-DS est conçu pour les mesures de distance en salle blanche et le vide (jusqu’à l’ultravide). Un calibrage spécifique du contrôleur permet d’obtenir une résolution sub-nanométrique, nécessaire par exemple pour l’alignement des wafers ou le positionnement du porte-plaquette. Les interféromètres se composent d’un contrôleur, d’un capteur et d’un câble à fibre optique. Les capteurs ont été développés pour les tâches de mesure industrielles. C’est pourquoi ils sont équipés de boîtiers métalliques robustes et de câbles hautement flexibles.
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